使用紅外顯微鏡AIM-9000 及AIMsolution 分析軟件，可以在對掃描點進行可視觀察的同時，測定該掃描點的光譜。 本文向您介紹通過可視觀察的同步測定對多層薄膜進行分析的示例

多層薄膜的測定

圖1 為用切片機切成厚度為20 μm 的多層薄膜截面顯微鏡圖像。由圖可知，該薄膜至少由4 層構(gòu)成。 水平放置多層薄膜樣品，利用透射法進行光譜測定。如圖2所示，首先指定樣品和背景（BKG）的掃描點。本次分析的背景位置為沒有薄膜的地方（空氣），將掃描點1 和4 的光闌設(shè)為 50 × 50 μm，掃描點2 和3 的光闌設(shè)為20 × 50 μm。 背景掃描需要將光闌尺寸與掃描點設(shè)為相同的數(shù)值。如果在不同尺寸下選擇了多個掃描點，將自動掃描各光闌尺寸下的背景。表1 為測定條件

分析結(jié)果：

圖3 為測定得到的顯微區(qū)域圖像及各掃描點的光譜。 分析結(jié)束后，AIMsolution 分析軟件會自動啟動，可以輕松進行數(shù)據(jù)處理和光譜檢索。圖4 為AIMsolution Analysis 軟件窗口。因為各掃描點的顏色與各光譜的顏色對應(yīng)，所以易于進行比較。圖5 為檢索結(jié)果。上圖為得到的光譜；中圖為命中的光譜；下圖命中列表。 使用該軟件可順利完成從掃描位置的確認到掃描、分析等一系列操作，為操作人員提供了有力的支持

總結(jié) ：

通過可視觀察的同步測定可以實時確認各掃描點的圖像和光譜。 另外，因為AIMsolution 分析軟件以相同顏色顯示各掃描點及其光譜，所以不僅可視覺確認掃描信息，還可以簡單地進行大氣校正等數(shù)據(jù)處理和檢索操作。 綜上所述，使用AIM-9000、AIMsolution Measurement 軟件和AIMsolutin 分析軟件，在每一個操作步驟都可以瞬間獲得準確的數(shù)據(jù)，實現(xiàn)了輕松分析