隨著電氣電子設(shè)備的小型化和多功能化，儀器的零部件也不斷微型化，因此超小型高性能的半導(dǎo)體零部件和傳感器等光學(xué)元件被廣泛應(yīng)用。在微型化設(shè)備和零部件中，微米級(jí)的微小異物可能會(huì)導(dǎo)致儀器發(fā)生運(yùn)行故障。因此為了防止此類問(wèn)題的發(fā)生，查明異物來(lái)源極其重要。 島津公司的異物自動(dòng)分析系統(tǒng)（紅外顯微鏡）AIM-9000 采用將微小部分作為測(cè)定目標(biāo)的光學(xué)設(shè)計(jì)，可以在短時(shí)間內(nèi)獲得微米級(jí)異物的清晰光譜。本文向您介紹使用本系統(tǒng)對(duì)光學(xué)元件表面附著的約10 μm 微小異物進(jìn)行測(cè)定的示例

光學(xué)元件上的微小異物

圖1 為電子設(shè)備配置的光學(xué)元件零部件表面附著異物的顯微鏡照片。由圖可知，異物在數(shù)μm～10 μm 左右，分布在元件表面

測(cè)定 ：

因?yàn)樵摦愇锼诘牧悴考砻鏋槠交矣泄鉂傻慕饘?，所以無(wú)需提取異物，適合不易發(fā)生破壞和丟失的反射法進(jìn)行測(cè)定。 圖2 為使用紅外顯微鏡、采用該方法測(cè)定得到的異物紅外光譜及其檢索結(jié)果；表1 為測(cè)定條件。由此可知，對(duì)10 μm 左右的微小異物，可在20 秒左右的短時(shí)間內(nèi)得到干擾較少的光譜。再利用儀器標(biāo)準(zhǔn)配置的光譜庫(kù)進(jìn)行分析，可以判斷異物為乳酸鹽

異物自動(dòng)分析系統(tǒng)（紅外顯微鏡）AIM-9000 采用以極微小部分為測(cè)定目標(biāo)的光學(xué)設(shè)計(jì)，實(shí)現(xiàn)了高級(jí)別的信噪比（S/N 比）30,000：1。對(duì)極微小的異物，也可在短時(shí)間內(nèi)得到優(yōu)質(zhì)的光譜。下文將以分布在氟化鋇窗片上的φ10 μm 聚苯乙烯珠粒的測(cè)定結(jié)果為示例進(jìn)行介紹。圖3 為聚苯乙烯珠粒的顯微鏡照片。分別使用AIM-9000 和島津公司傳統(tǒng)機(jī)型，采用透射法針對(duì)聚苯乙烯珠粒進(jìn)行測(cè)定。圖4 為比較結(jié)果；表2 為測(cè)定條件；圖5 為與紅外分光光度計(jì)IRTracer-100 連接的AIM-9000 外觀照片。

總結(jié)

總結(jié)：綜上所述，異物自動(dòng)分析系統(tǒng)（紅外顯微鏡）AIM-9000 是對(duì)光學(xué)元件表面附著的約10 μm 的微小異物進(jìn)行測(cè)定和識(shí)別的選擇。