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反射率測(cè)量設(shè)備選型：MSP-100 同類產(chǎn)品全清單
以下是 Shibuya-opt MSP-100 系列反射率測(cè)量?jī)x 的同類/替代產(chǎn)品全清單，涵蓋不同行業(yè)需求（光學(xué)鍍膜、半導(dǎo)體、顯示等），并附關(guān)鍵參數(shù)對(duì)比：
一、高精度微區(qū)反射率測(cè)量（<100μm光斑）
| 型號(hào) | 品牌 | 波長(zhǎng)范圍 | 光斑尺寸 | 精度 | 特點(diǎn) | 適用行業(yè) |
|---|---|---|---|---|---|---|
| MSP-100UV | Shibuya-opt | 380-1050nm | φ50μm | ±0.02% | 紫外敏感，非接觸測(cè)量，適合半導(dǎo)體光刻膠檢測(cè) | 半導(dǎo)體、光學(xué)鍍膜 |
| USPM-RUⅢ | 奧林巴斯 | 380-780nm | φ30μm | ±0.01% | 膜厚+反射率聯(lián)測(cè)，干涉法高精度 | 光學(xué)鍍膜、單層膜分析 |
| Filmetrics F20 | KLA（美國(guó)） | 190-1700nm | 10μm | ±0.1% | 薄膜厚度+反射率同步分析，毫秒級(jí)測(cè)量 | 半導(dǎo)體、MEMS |
| SRT100 | 北京某貿(mào)易商 | 250-1100nm | 500μm-5mm | ±0.5% | 可測(cè)5層薄膜折射率/反射率，支持實(shí)時(shí)在線測(cè)量 | 液晶顯示、光學(xué)涂層 |
| SR100 | Angstrom Sun | 250-1100nm | 500μm-5mm | ±0.5% | 快速測(cè)量（2ms），支持多通道升級(jí) | 半導(dǎo)體、納米材料 |
二、寬光譜反射率測(cè)量（紫外-紅外）
| 型號(hào) | 品牌 | 波長(zhǎng)范圍 | 光斑尺寸 | 特點(diǎn) | 適用行業(yè) |
|---|---|---|---|---|---|
| MSP-100IR | Shibuya-opt | 近紅外（定制） | φ50μm | InGaAs傳感器，高信噪比 | 紅外光學(xué)、熱控涂層 |
| 410Vis-IR | 安洲科技 | 335nm-21μm | 模塊化探頭 | 可見(jiàn)+紅外雙測(cè)量頭，支持太陽(yáng)能吸收率計(jì)算 | 航空、太陽(yáng)能、建筑 |
| SSR-ER | 帝恩斯（美國(guó)） | 太陽(yáng)光譜模擬 | 25.4mm孔徑 | 16種大氣條件測(cè)試，NIST溯源 | 航天、熱控涂層 |
| RT100 | 未知品牌 | 200-2500nm | 1mm | 透射/反射聯(lián)測(cè)，積分球兼容 | 顯示面板、濾光片 |
三、便攜式/工業(yè)現(xiàn)場(chǎng)適用
| 型號(hào) | 品牌 | 波長(zhǎng)范圍 | 精度 | 特點(diǎn) | 適用場(chǎng)景 |
|---|---|---|---|---|---|
| 15R-RGB | 美國(guó)某品牌 | 多波段（RGB+IR） | ±0.002 | 便攜式，5波段測(cè)量，太陽(yáng)能反射鏡檢測(cè) | 太陽(yáng)能、戶外檢測(cè) |
| C84-Ⅲ | PUSHEN | 可見(jiàn)光（固定角度） | ±1% | 低成本，適用于涂料遮蓋力測(cè)試 | 建筑涂料、質(zhì)檢 |
| NR4510 | 三恩時(shí) | 可見(jiàn)光 | ±0.5% | 手持式，即開即測(cè)，適合產(chǎn)線快速檢測(cè) | 工業(yè)現(xiàn)場(chǎng)、快速質(zhì)檢 |
四、科研級(jí)高精度設(shè)備
| 型號(hào) | 品牌 | 波長(zhǎng)范圍 | 精度 | 特點(diǎn) | 適用領(lǐng)域 |
|---|---|---|---|---|---|
| Horiba SmartSpec 3000 | Horiba | 深紫外-THz | 0.001% | 超高研究級(jí)，低溫恒溫樣品倉(cāng) | 量子材料、二維材料 |
| kSA SpectR | kSA（美國(guó)） | 220-2500nm | ±1% | 實(shí)時(shí)鍍膜監(jiān)控（MBE/MOCVD），適合半導(dǎo)體外延生長(zhǎng) | 半導(dǎo)體外延片研發(fā) |
| Sentech SE 850 | Sentech | 橢偏+反射聯(lián)測(cè) | 納米級(jí) | 可分析光學(xué)常數(shù)（n,k），適合超薄膜研究 | 高光學(xué)鍍膜 |
選型建議
光學(xué)鍍膜：MSP-100UV（高精度）或 USPM-RUⅢ（膜厚聯(lián)測(cè)）。
半導(dǎo)體：Filmetrics F20（微區(qū)）或 kSA SpectR（實(shí)時(shí)監(jiān)控）。
顯示行業(yè)：RT100（寬光譜）或 410Vis-IR（太陽(yáng)能優(yōu)化）。
工業(yè)現(xiàn)場(chǎng)：NR4510（便攜）或 15R-RGB（多波段）。
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