特征

• ●熱膨脹系數(shù)與低膨脹玻璃相當(dāng)

• ●可實現(xiàn)精密鏡面加工

• ●高的穩(wěn)定性（熱/時間）

• ●重量輕、剛性高

• ●自擴散接合無需接合劑即可接合

1. 
   薄筋結(jié)構(gòu)
   （筋厚度：3mm）

2. 蓋板粘合（自擴散粘合）+精密鏡面加工

3. 
   箱體結(jié)構(gòu)（鏡面）
   Φ340×70mm

4. 
   平坦度 36nm < λ/10

5. 
   表面粗糙度：Ra 0.36nm，PV 32nm

鍵合技術(shù) 自擴散鍵合

• ?陶瓷直接接觸并加壓加熱，使構(gòu)成元素擴散而接合的方法。

• ?無需使用粘接劑即可接合。

1. 
   薄筋結(jié)構(gòu)
   （筋厚度：3mm）

2. 蓋子接頭

3. 
   箱體結(jié)構(gòu)（鏡面）
   Φ340×70mm

4. 

   聯(lián)合剖面照片

NEXCERA®熱穩(wěn)定性

1. 
   <熱循環(huán)前> 平面度：0.058μm

2. 
   <熱循環(huán)后>平面度：0.060μm

溫度循環(huán)前后的平整度變化在設(shè)備誤差范圍內(nèi)
， 形狀輪廓幾乎保持不變。

 熱循環(huán)引起的滯后非常小。

各材料物性表

*所列數(shù)據(jù)為典型值，并非保證值。