全反射X熒光（TXRF）分析技術(shù)是近年來才發(fā)展起來的多元素同時分析技術(shù)。TXRF利用全反射技術(shù)，使樣品熒光的雜散本底比X熒光能量色散譜儀（EDXRF）本底降低約四個量級，從而大大提高了能量分辨率和靈敏度，避免了XRF測量中通常遇到的本底增強或減弱效應(yīng)；同時TXRF技術(shù)又繼承了EDXRF方法的*性。它突出的優(yōu)點是檢出限低（pg、ng/mL級以下）、用樣量少（μL、ng級）、準確度高（可用內(nèi)標法）、簡便、快速，而且可進行無損分析，成為一種不可替代的全新的元素分析方法。上每兩年召開一次TXRF分析技術(shù)討論會，該技術(shù)被譽為在分析領(lǐng)域是有競爭力的分析手段、在原子譜儀領(lǐng)域內(nèi)處于地位。

在X熒光譜儀范圍內(nèi)，與波長色散譜儀（WDXRF）方法比較，由于TXRF分析技術(shù)用樣量很少，也不需要制作樣品的煩瑣過程，又沒有本底增強或減弱效應(yīng)，不需要每次對不同的基體做不同的基體校準曲線。另外由于使用內(nèi)標法，對環(huán)境溫度等要求很低。因而在簡便性、經(jīng)濟性、用樣量少等方面，都比WDXRF方法有明顯的*性。

在整個元素分析領(lǐng)域內(nèi)，TXRF技術(shù)可以對從鈉（11Na ）到鈾（92U）的所有元素進行分析，一次可以對近30種元素進行同時分析，這是原子吸收譜儀中的ETAAS和FAAS方法難以做到的。與質(zhì)譜儀中的ICP-MS和GDMS以及中子活化分析（NAA）等方法相比較，TXRF分析方法在快速、簡便、經(jīng)濟、多元素同時分析、用樣量少、檢出限低、定量性好等方面有著綜合優(yōu)勢。

◇  應(yīng)用領(lǐng)域：
    TXRF在元素分析領(lǐng)域內(nèi)的應(yīng)用現(xiàn)狀和發(fā)展前景都是令人鼓舞的。它可以廣泛用于地礦、冶金、化工、食品、生物、醫(yī)藥、環(huán)保、法檢、考古、高純材料等等各領(lǐng)域內(nèi)的常量、微量、痕量元素分析測定，特別在半導(dǎo)體工業(yè)中的硅表面質(zhì)量控制方面，有著不可替代的優(yōu)勢，目前已在上得到廣泛應(yīng)用。
 地礦：金礦、銅精料和鎳精料、螢石、長石、氧化銻
冶金：鎳電解液、銅陽極泥、高冰鎳中的貴金屬、光譜純Rh、金銀首飾、鑄鐵、軸承
化工：柴油中的硫含量、各種催化劑、陶瓷釉料
環(huán)境保護：自來水、大氣飄塵、污水污泥
生物：海洋動物牙齒和體液
醫(yī)藥：頭發(fā)和指甲中的有益有害元素、丹參中的有害微量元素
食品：飲料中的元素
刑偵法醫(yī)：現(xiàn)場樣品鑒定
考古：青銅器等
材料：高純石英雜質(zhì)含量，KTP晶體注入Er的認定