光源

白光LED

白光LED

標(biāo)配影像系統(tǒng)

1024×1024（2048×2048可選）

1024×1024（2048×2048可選）

標(biāo)配干涉物鏡

10×（2.5×，5×，20×，50×，100×可選）

10×（2.5×，5×，20×，50×，100×可選）

標(biāo)配光學(xué)ZOOM

1×，（0.5×、0.75×可選）

1×，（0.5×、0.75×可選）

標(biāo)配視場

0.49*0.49mm

0.49*0.49mm

******視場

6*6mm

6*6mm

物鏡塔臺(tái)

3孔手動(dòng)

3孔手動(dòng)

XY位移平臺(tái)

尺寸

320×200mm

320×320mm

移動(dòng)范圍

140×110mm

200×200mm

負(fù)載

10kg

10kg

控制方式

電動(dòng)

電動(dòng)

水平調(diào)整

±4°手動(dòng)

±電°手動(dòng)

Z軸聚焦

行程

100mm

100mm

控制方式

電動(dòng)

電動(dòng)

Z向掃描范圍

10 mm

10 mm

Z向分辨率

0.1nm

0.1nm

可測樣品反射率

0.5%~99%

0.5%~99%

粗糙度RMS重復(fù)性

0.005nm

0.005nm

臺(tái)階測量

準(zhǔn)確度

重復(fù)性

準(zhǔn)確度

重復(fù)性

0.75% 1σ

0.1% 1σ

0.75% 1σ

0.1% 1σ