KLA-公司擁有最多的形貌學(xué)核心技術(shù), 并不斷推出更多更新更便于操作的形貌學(xué)測量產(chǎn)品。形貌學(xué)
測試系統(tǒng) D-系列和 P-系列都是基于 KLA-的技術(shù)開發(fā)的，適用于對多種材料進行高精度形貌學(xué)測試
分析，對樣品的多種形貌學(xué)性能進行快速、實時分析，包括臺階高度、表面粗糙度、表面形貌，表面內(nèi)
應(yīng)力分布等等。在許多應(yīng)用研究領(lǐng)域，D-系列和 P-系列都表現(xiàn)出其的杰出性能特征：諸如半導(dǎo)
體科學(xué)、材料科學(xué)、聚合物材料、生命科學(xué)、交叉學(xué)科納米尺度的研究等。