日本ARK高輸出型晶圓外圍曝光UV-LED光源光學(xué)測(cè)量?jī)x

參考價(jià)	￥10000-￥100000

參考價(jià)

￥10000-￥100000

具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

公司名稱秋山科技（東莞）有限公司
品牌
型號(hào)
所在地東莞市
廠商性質(zhì)經(jīng)銷商
更新時(shí)間2024/3/23 7:48:38
訪問次數(shù)1743

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產(chǎn)品詳情

日本ARK高輸出型晶圓外圍曝光UV-LED光源EW04S

用于g線和i線光刻膠晶圓外圍曝光的UV-LED光源。光學(xué)設(shè)計(jì)可實(shí)現(xiàn) 7，000 mW/cm2 或更高的高輸出。它是加工厚膜抗蝕劑的理想選擇，這過去需要大量的加工時(shí)間。此外，曝光處理時(shí)間可以大大減少，這極大地促進(jìn)了加工晶圓數(shù)量的增加。

日本ARK高輸出型晶圓外圍曝光UV-LED光源EW04S

規(guī)范

項(xiàng)目	物質(zhì)
工作環(huán)境溫度	5~40°C（無(wú)冷凝。）
電源電壓	單相 100~240V
工頻	50/60赫茲
發(fā)射峰值波長(zhǎng)	365±5納米
光輸出穩(wěn)定性	±5%以內(nèi)
初始紫外線強(qiáng)度	2000mW/c㎡以上（AT365nm，距掩模0.5mm）
強(qiáng)度分布的均勻性	10%以下（4×5mm面積）
紫外光源	紫外發(fā)光二極管
紫外光源壽命	20000 小時(shí)（估計(jì)使用壽命，最大驅(qū)動(dòng)電流） *初始階段UV強(qiáng)度為50%或更高的照明積分時(shí)間
照射開/關(guān)功能	紫外線 LED 開/關(guān)控制（通過遠(yuǎn)程和手動(dòng)控制打開/關(guān)閉）
光強(qiáng)調(diào)節(jié)功能	UV-LED電流調(diào)節(jié) 光強(qiáng)調(diào)節(jié)范圍 20~100%
外飾材料	不銹的
外部尺寸	150（寬）×200（深）×192（高）毫米