Park XE15具備多個(gè)特殊功能，是共享實(shí)驗(yàn)室處理各種樣品，研究員進(jìn)行多變量實(shí)驗(yàn)，失效分析時(shí)研究晶片等的，合理的價(jià)格搭配強(qiáng)健的性能設(shè)置，Park XE15能夠?qū)崿F(xiàn)多樣品一次性自動(dòng)成像，實(shí)現(xiàn)大化，您只需要將樣品放在樣品臺(tái)上，在啟動(dòng)掃描程序便可，該功能還可以在相同環(huán)境條件下掃描樣品，從而大大提高數(shù)據(jù)的精確性和穩(wěn)定性，同時(shí)他還配有全面的掃描模式，可掃描各種尺寸的樣品。

基本技術(shù)特點(diǎn)

100μm x 100μm掃描范圍的XY柔韌導(dǎo)向掃描

撓性導(dǎo)向強(qiáng)力Z掃描12μm （25μm選配）

滑動(dòng)連接的超亮二級(jí)管頭

多樣品夾頭

選配編碼器的XY自動(dòng)樣品載臺(tái)

垂直對(duì)齊的電動(dòng)Z載臺(tái)和聚焦載臺(tái)

6寸樣品臺(tái)

基本功能模式