KLA D-300 探針式表面輪廓儀

Alpha-Step D-300 探針式輪廓儀支持臺(tái)階高度、粗糙度、翹曲度和應(yīng)力的2D 測(cè)量。 創(chuàng)新的光學(xué)杠桿傳感器技術(shù)提供高分辨率測(cè)量，大垂直范圍和低觸力測(cè)量功能。

    探針測(cè)量技術(shù)的一個(gè)優(yōu)點(diǎn)是它是一種直接測(cè)量，與材料特性無關(guān)?？烧{(diào)節(jié)的觸力以及探針的選擇都使其可以對(duì)各種結(jié)構(gòu)和材料進(jìn)行精確測(cè)量。通過測(cè)量粗糙度和應(yīng)力，可以對(duì)工藝進(jìn)行量化，確定添加或去除的材料量，以及結(jié)構(gòu)的任何變化。

設(shè)備特點(diǎn)

· 臺(tái)階高度：幾納米至1000μm

· 低觸力：0.5至15mg

· 視頻：500萬像素高分辨率彩色攝像頭

· 梯形失真校正：消除側(cè)視光學(xué)系統(tǒng)引起的失真

· 圓弧校正：消除由于探針的弧形運(yùn)動(dòng)引起的誤差

· 緊湊尺寸：最小占地面積的臺(tái)式探針式輪廓儀

主要應(yīng)用

· 臺(tái)階高度：2D臺(tái)階高度

· 紋理：2D粗糙度和波紋度

· 形式：2D翹曲和形狀

· 應(yīng)力：2D薄膜應(yīng)力

應(yīng)用領(lǐng)域

· 半導(dǎo)體和復(fù)合半導(dǎo)體

· SIMS：二次離子質(zhì)譜

· LED：發(fā)光二極管

· 太陽能

· MEMS：微電子機(jī)械系統(tǒng)

· 汽車

· 醫(yī)療設(shè)備