真空探針臺真空設(shè)備集成

高低溫真空腔探針系統(tǒng)主要用于為被測芯片提供一個低溫或者高溫的變溫測量環(huán)境，以便測量分析溫度變化時芯片性能參數(shù)的變化。腔體內(nèi)被測芯片在真空環(huán)境中有效避免易受氧化半導體器件接觸空氣所帶來的測試結(jié)果誤差。

　　極低溫測試:

　　因為晶圓在低溫大氣環(huán)境測試時，空氣中的水汽會凝結(jié)在晶圓上，會導致漏電過大或者探針無法接觸電極而使測試失敗。避免這些需要把真空腔內(nèi)的水汽在測試前用泵抽走，并且保持整個測試過程泵的運轉(zhuǎn)。

　　高溫無氧化測試：

　　當晶圓加熱至300℃,400℃,500℃甚至更高溫度時，氧化現(xiàn)象會越來越明顯，并且溫度越高氧化越嚴重。過度氧化會導致晶圓電性誤差，物理和機械形變。避免這些需要把真空腔內(nèi)的氧氣在測試前用泵抽走，并且保持整個測試過程泵的運轉(zhuǎn)。晶圓測試過程中溫度在低溫和高溫中變換，因為熱脹冷縮現(xiàn)象，定位好的探針與器件電極間會有相對位移，這時需要針座的重新定位，探針座位于腔體外部，可以在不破壞真空度的同時調(diào)整探針達到理想位置進行測量。我們也可以選擇使用操作桿控制的自動化針座來調(diào)整探針的位置。

真空探針臺真空設(shè)備集成

1、探針平臺：

　　探針座采用真空室外置結(jié)構(gòu)，通過探針臂與探針實現(xiàn)同步、線性位移;探針座采用鋁制整體式結(jié)構(gòu)，結(jié)構(gòu)緊湊、承載大、精度高、穩(wěn)定性好等優(yōu)點，三維調(diào)節(jié)范圍為X、Y、Z±20mm，驅(qū)動方式為手動測微頭，驅(qū)動位置為V型導軌+交叉滾珠中心驅(qū)動，產(chǎn)品定向性能穩(wěn)定，采用精密研磨絲桿M3*0.5分辨率高，配合做大手輪，最小刻度0.01mm，精度0.001mm，直線度單軸0.002mm，重復定位精度±2微米，單軸直線度±2微米，固定方式為沉孔螺釘固定。自重1.7Kg，負載5Kg。

　　探針夾具采用同軸探針夾具，接BNC公接頭。阻抗，50歐姆;接頭，Coaxial BNC公口;最小漏電流，10pA;線徑，30AWG;電壓，700V?？紤]到在做晶圓測試時是在高溫下測量，所以探針夾具連接處需采用高純陶瓷連接，這樣既可以耐高溫，也可以減少放氣量，有利于高真空獲得和數(shù)據(jù)的精準性!

　　探針臂采用優(yōu)質(zhì)304不銹鋼光軸，可以有效保證探針的水平準直度和變溫環(huán)境下的剛性，減少形變造成的不良影響。探針臂移動真空密封裝置，采用壓縮比達到1:6.5的焊接波紋管，壓縮壽命優(yōu)于10萬次。保證探針臂行程的同時減少對探針座造成的負擔。

　　2、光學平臺

　　隔振支撐采用超薄復合材料氣囊、自定心準無摩擦球頭擺桿和帶附加擴散口的多小孔準層流阻尼技術(shù)，隔振性能良好。自動水平，自動充氣，全部氣動執(zhí)行元件采用德國FEST0產(chǎn)品，空氣壓縮機氣源、噪聲低。

　　應(yīng)用范圍：適用于對振動要求高的場所。 如光電測量、全息成像、光柵制作等。輕松 調(diào)節(jié),結(jié)構(gòu)穩(wěn)定可靠。

　　臺面為三層夾心蜂窩狀支撐結(jié)構(gòu)，采用ICR17優(yōu)質(zhì)高導磁不銹鋼

　　平臺表面粗糙度0.5?0.6 um

　　平面度0.02 ~ 0.05 mm/m2

　　固有頻率1.5 ~2 Hz

　　振幅小于1 um

　　重復定位精度±0.10 mm

　　工作壓力0.2~0.6(Mpa)

　　3、顯微鏡

　　1、鑒別力高，視場范圍大，景深長。

　　2、工作距離長至115mm。

　　3、左右目鏡屈光度可調(diào)正負5度，能滿足不同視力的操作者觀察。

　　4、能隨意調(diào)節(jié)手輪的力矩，滿足不同操作者的使用習慣，更可以鎖定手輪，方便定倍觀察。

　　5、本顯微鏡為連續(xù)變倍，變倍比為6.3：1 ，物鏡變倍范圍0.8X-5X。

　　6、雙目觀察傾斜45度，雙瞳距調(diào)節(jié)范圍52-75mm。

　　7、三目體式顯微鏡，可安裝CCD成像系統(tǒng)。

　　8、倍率可達200X。

　　產(chǎn)品優(yōu)點：

　　產(chǎn)品造型比較新穎

　　機械特性，操作舒適度高。

　　光學系統(tǒng)鑒別力達300線對以上，符合國際標準

　　超長的工作距離位于國內(nèi)同行的設(shè)計

　　創(chuàng)見性人機學設(shè)計，產(chǎn)品細節(jié)考慮全面。

　　配CCD采用USB連接電腦，分辨率≦2微米，像素≧500萬

　　特性：

　　密封性-------防塵,防油\防水污染，此種接口密封性設(shè)計能安全防塵\防油\防水或其它污染，這就減少了常規(guī)的維護,從而降低了總的費用.

　　防霉性------使其同樣適用于悶熱或潮濕的環(huán)境，此的設(shè)計保證了顯微鏡在高溫或是潮濕下都能安然無恙

　　防靜電------防靜電設(shè)計可以釋放顯微鏡內(nèi)不斷產(chǎn)生的靜電,防止標本被損壞,保證提高產(chǎn)量和降低產(chǎn)品成本

　　4、高低溫控制系統(tǒng)

　　控溫系統(tǒng)采用日本島電溫控儀表配置固態(tài)繼電器、熱電偶形成閉環(huán)PID控溫和自整定調(diào)節(jié)，智能化30段可編程控制，控溫精準可達到±1℃，顯示精度1℃，溫度均勻性±3℃;加熱器220V供電，溫度600℃，液氮制冷，溫度可達到-130℃。

　　5、充氣系統(tǒng)

　　充氣系統(tǒng)采用采用質(zhì)量流量計及控制顯示器3路，采用日本原裝品牌，提供原產(chǎn)地證明，精度1%FS，響應(yīng)時間優(yōu)于1sec;

    測量氣體：待定 ，量程：待定 ，數(shù)量：3路 ，連接尺寸：F6雙卡套。

　　真空截止閥3個，連接尺寸：F6雙卡套。

　　F52mm*L200mm混氣罐1個，接頭4個，連接尺寸：F6雙卡套。

　　連接管路采用F6無縫316材質(zhì)不銹鋼管。

　　6、真空系統(tǒng)

　　真空獲得設(shè)備：抽真空機械泵采用中韓合資型號TRP-36，9L/s抽速，自帶防返油閥門，KF25接口，KF25排氣口，配有油霧過濾器。極限真空度優(yōu)于10Pa。

　　真空連接管道：配置KF40手動真空擋板閥，波紋管密封，性能可靠，外觀大氣，手感好;放氣閥配置KF16手動放氣閥，體積小巧，性能可靠;所有真空管道采用不銹鋼液壓波紋管，具備很好的柔韌度，消除機械泵震動所帶給探針臺的影響。

　　真空測量：真空測量采用全金屬KF16電阻規(guī)，配合真空計實時顯示從大氣壓到0.1Pa的真空度，外形美觀，日后維護成本低。

　　7、備品配件

　　贈送全套密封件1套，探針10只，探針臂陶瓷連接件2個。